纳机电系统

1 (p1): 第1章 从MEMS到NEMS
1 (p1-1): 1.1 微纳机电系统：概述
7 (p1-2): 1.2 小结
9 (p2): 第2章 纳米尺度上的转导与噪声的概念
9 (p2-1): 2.1 机械传递函数
14 (p2-2): 2.2 转导原理
15 (p2-2-1): 2.2.1 纳米结构的驱动
21 (p2-2-2): 2.2.2 检测
34 (p2-3): 2.3 自激振荡与噪声
39 (p2-4): 2.4 小结
41 (p3): 第3章 NEMS与其读出电路的单片集成
41 (p3-1): 3.1 简介
41 (p3-1-1): 3.1.1 为什么要将NEMS与其读出电路进行集成
42 (p3-1-2): 3.1.2 MEMS-CMOS与NEMS-CMOS之间的区别
43 (p3-2): 3.2 单片集成的优势与主要途径
43 (p3-2-1): 3.2.1 集成方案及其电气性能的比较
46 (p3-2-2): 3.2.2 闭环NEMS-CMOS振荡器：构建基于NEMS的频率传感器的必不可少的组成模块
47 (p3-2-3): 3.2.3 从制造技术的角度概述主要成就
51 (p3-3): 3.3 从转导的角度对一些显著成就的分析
51 (p3-3-1): 3.3.1 电容式NEMS-CMOS的案例
55 (p3-3-2): 3.3.2 压阻式NEMS-CMOS的案例
58 (p3-3-3): 3.3.3 替代途径
59 (p3-4): 3.4 小结与未来展望
60 (p4): 第4章 NEMS与尺度效应
60 (p4-1): 4.1 简介
64 (p4-1-1): 4.1.1 固有损耗
65 (p4-1-2): 4.1.2 外部损耗
69 (p4-2): 4.2 纳米结构中的近场效应：卡西米尔力
69 (p4-2-1): 4.2.1 卡西米尔力的直观解释
70 (p4-2-2): 4.2.2 问题
72 (p4-2-3): 4.2.3 两个硅板之间卡西米尔力的严格计算
76 (p4-2-4): 4.2.4 纳米加速度计内卡西米尔力的影响
79 (p4-2-5): 4.2.5 本节小结
80 (p4-3): 4.3 “固有”尺度效应的示例：电传导定律
80 (p4-3-1): 4.3.1 电阻率
85 (p4-3-2): 4.3.2 压阻效应
93 (p4-4): 4.4 光机纳米振荡器和量子光机
101 (p4-5): 4.5 小结
102 (p5): 第5章 结论与应用前景：从基础物理到应用物理
114 (p6): 附录
114 (p6-1): 附录A 针对纳米线的“自下而上”和“自上而下”制造工艺
114 (p6-1-1): A.1 “自下而上”制造
116 (p6-1-2): A.2 “自上而下”制造
117 (p6-2): 附录B 卡西米尔力详述
119 (p7): 参考文献 Ben shu jie shao le MEMS(wei ji dian xi tong)Xiang NEMS(na ji dian xi tong)De yan bian,NEMS de xiang guan li lun he ji shu yi ji xiang guan de qian yan yan jiu.Shu zhong nei rong zhu yao tao lun le NEMS de ji dian te xing,Chi du xiao ying dai ji NEMS de you qu xing neng yi ji mu qian de zhi zao gong yi,Wei gai ling yu mu qian he wei lai de yan jiu ti gong le qing xi de xu shu 本书介绍了MEMS(微机电系统)向NEMS(纳机电系统)的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺,为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述